Chemische Gasphasenabscheidung

Die chemische Gasphasenbeschichtung von nichtmetallischen und metallischen Bauteilen hat in den letzten Jahren zunehmend industrielle Anwendung gefunden. Sehr dünne, gleichmäßige chemische Beschichtungen auf Bauteilen aus Aluminium, Edelstahl, Gold, Silber und anderen Metallen bieten wichtige technische und wirtschaftliche Möglichkeiten. Solche Beschichtungen können die Korrosions- und Verschleißfestigkeit erhöhen, isolierenden Materialien eine leitfähige Oberfläche verleihen und Reflektoren eine hochwertige Oberfläche verleihen.

Solche Filme werden in der Regel in einer Vakuumkammer aufgebracht, in der sich die zu beschichtenden Teile und die chemische Dampfquelle befinden. Die Hochfrequenz-Induktionserwärmung eignet sich ideal dazu, die Metalldampfquelle entweder auf einen Wert knapp unterhalb der Schmelztemperatur oder häufig auch deutlich darüber zu erhitzen, während sie in einem Tiegel gehalten wird.