化学气相沉积

近年来，非金属和金属零件的化学气相沉积涂层在工业领域的应用日益广泛。在铝、不锈钢、金、银及其他金属零件表面形成极薄且均匀的化学涂层，具有重要的工程和经济价值。此类涂层不仅能提高耐腐蚀性和耐磨性，还能在绝缘材料表面形成导电层，并为反射器提供高光泽度表面。

此类薄膜通常是在一个真空腔室内沉积的，该腔室内放置有待镀件和化学气相源。高频感应加热非常适合将置于坩埚中的金属气相源加热至略低于熔点，或者通常加热至远高于熔点的温度。