化學氣相沉積

近年來，非金屬及金屬零件的化學氣相沉積技術在工業領域的應用日益廣泛。在鋁、不鏽鋼、金、銀及其他金屬零件表面形成極薄且均勻的化學塗層，能帶來重要的工程與經濟效益。此類塗層不僅能提高抗腐蝕性和耐磨性，還能為絕緣材料提供導電表面，並為反射器賦予高光澤度表面。

此類薄膜通常是在一個真空腔室中進行沉積，該腔室內放置待鍍件及化學氣相源。高頻感應加熱非常適合用於將置於坩堝中的金屬氣相源加熱至略低於熔點，或經常加熱至遠高於熔點的溫度。