化学気相成長

近年、非金属および金属部品への化学気相コーティングの産業用途が拡大している。アルミニウム、ステンレス鋼、金、銀、その他の金属部品に、極めて薄く均一な化学物質の被膜を形成することは、技術的および経済的に大きな可能性を秘めている。このようなコーティングは、耐食性や耐摩耗性を向上させたり、絶縁材料に導電性表面を与えたり、反射板に高品位の仕上げを施したりすることができる。

このような膜は、一般的に、被膜を形成する対象となる部品と化学気相源が収容された真空チャンバー内で形成される。高周波誘導加熱は、るつぼ内に収容された金属気相源を、融点よりわずかに低い温度、あるいは多くの場合それよりはるかに高い温度まで加熱するのに最適である。